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        日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣
        
            
        更新時間：2025-06-12      瀏覽次數：399
        
            
        
            	
        日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣
          NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
              特長
            1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

            2. 低噪音、低振動

            3. 優良的耐腐蝕性

            4. 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

            5. 選購件

            6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。


              7. 用途
            7. •  活性氣體（CVD、刻蝕等）。

            8. •  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

            9. •  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

            10. •  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

            11. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。

        • 技術參數
        • 外形尺寸圖
        • 抽氣速率曲線
        日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣

        * 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
        * 2  無結露。
        * 3  用調節閥所調整的壓力表的值。
        * 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。

        
            
        
            
		
        
            
    
        
    
        

        




        
    
        
        
        
        
        	
            
            
        
            	
        電話：TEL
        
                86-010-67868591
                
        地址：ADDRESS
        
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
        
            
        
                
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