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        技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
        
            
        
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        日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵 Model:LR北崎熱賣
        
            
        更新時間：2025-08-19      瀏覽次數：245
        
            
        
            	
        多級羅茨型干泵Model:LR
        通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。



          特點
          • 低溫區域均熱化（Model:LR）
            在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
          • 氦氣密封
            通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。
          • 瞬停對策
            采取了1000msec以內瞬停對策。
          • 出色的耐腐蝕性
            主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
          • 通信功能
            可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。






          用途
          • 成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
          • 縮短備料下料室的排氣時間
          • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）






          規格
          型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
          最大
          排氣速度          		50Hz62 m3/h
          (1030 L/min)          		112 m3/h
          (1860 L/min)          		183 m3/h
          (3100 L/min)          		440 m3/h
          (7333 L/min)          		440 m3/h
          (7333 L/min)
          60Hz80 m3/h
          (1333 L/min)          		126 m3/h
          (2100 L/min)          		237 m3/h
          (3950 L/min)
          到達壓力5.0 Pa
          最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
          最大排氣口壓力
          （排出圧力）          		1~ 大氣壓 Pa
          吸氣口 (CE規格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
          排氣口KF40VG50
          質量180 kg245 kg335 kg415 kg
          電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
          380~440 VAC(50/60 Hz)
          電流值穩定時6.9 A
          (at 200V)          		11.2 A
          (at 200V)          		18.9 A
          (at 200V)          		20.8 A
          (at 200V)
          最大值7.3 A
          (at 200V)          		11.8 A
          (at 200V)          		20.6 A
          (at 200V)          		48.5 A
          (at 200V)
          冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
          冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
          吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
          二次壓力0.05~0.1 MPa
          氮氣吹掃軸5 SLM
          氣鎮0~45 SLM沒有0~45 SLM
          *1 請訂購時指定。


          型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
          (TT)          		LR3601-RLR3601-TR
          (TTR)
          使用泵干式
          真空泵          		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
          機械
          增壓泵          		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
          (-T)          		PRC-036DPRC-036D
          (D-T)
          最大
          排氣
          速度          		50Hz359 m3/h
          (5,980
          L/min)          		653 m3/h
          (10,900
          L/min)          		1,012 m3/h
          (16,900
          L/min)          		1,701 m3/h
          (28,350
          L/min)          		3,200 m3/h(53,333 L/min)
          60Hz365 m3/h
          (6,080
          L/min)          		701 m3/h
          (11,700
          L/min)          		1,051 m3/h
          (17,500
          L/min)          		1,784 m3/h
          (29,700
          L/min)
          到達壓力0.67 Pa
          最大排氣壓力
          （吸入圧力）          		大氣壓
          最大排氣口壓力
          （排出圧力）          		1~ 大氣壓 Pa
          吸氣口 (CE規格)VG80
          (KF80)          		VG100
          (KF100)          		VG150
          (KF100)          		VG150
          排氣口KF40KF50
          MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
          TT:×          		×TR:×
          TTR:〇
          質量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
          電源
          *2          		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
          電流值穩定時7.0 A
          (at 200V)          		12.3 A
          (at 200V)          		13.7 A
          (at 200V)          		21.4 A
          (at 200V)          		31.0 A(at 200V)
          20.5 A(at 400V)          		35.4 A(at 200V)
          20.5 A(at 400V)
          最大值9.6 A
          (at 200V)          		19.0 A
          (at 200V)          		24.2 A
          (at 200V)          		39.8 A
          (at 200V)          		58.4 A(at 200V)
          40.5 A(at 400V)          		82.0 A(at 200V)
          40.5 A(at 400V)
          冷卻水
          一次壓力          		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水
          出入口壓差          		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
          吹掃氣一次
          壓力          		0.1~0.5 MPa
          二次
          壓力          		0.05~0.1 MPa
          N2
          吹掃          		軸5 SLM
          氣鎮0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM
          *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
          *2 請訂購時指定。
          *3 根據用途，使用氣鎮的規格也可報價。


          配飾
          ■消音器 (選項)
          型號材質表面處理重量
          (kg)          		法蘭
          接口          		LR
          300          		LR
          600          		LR
          1200          		LR
          1800          		L&
          3601          		LR
          60          		LR
          90          		LR
          180          		LR
          421          		LR
          421-T
          RS-01 +
          kitA          		SUS
          304          		GBB處理4.1
          kg          		KF40〇----〇〇---
          RS-01 +
          kitB          		KF40-〇〇-------
          RS-02 +
          kitA          		8.3
          kg          		KF40〇------〇--
          RS-02 +
          kitB          		KF40-〇〇〇------
          RS-03 +
          kitA          		磨板12.5
          kg          		KF50--------〇〇
          RS-03 +
          kitB          		----〇-----


          排氣速度曲線
          • LR60
          LR60_curve.png
          • LR90
          LR90_curve.png
          • LR180
          LR180_curve.png
          • LR421-T
          LR421_curve.png
          • LR300 / LR600
          LR300_600_curve.png
          • LR1200
          LR1200_curve.png
          • LR1800
          LR1800_curve.png
          • LR3601(-R / -TR / -TTR)
          LR3601R_TR_TTR_curve.png
          • LR3601(-T / -TT)
          LR3601T_TT_curve.png





            
            
            
            
		
            
            
    
            
    
            

            




            
    
            
        
        
            
        	
            
            
            
            	
            電話：TEL
            
                86-010-67868591
                
            地址：ADDRESS
            
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
            
            
            
                
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